日本三鹰MITAKA激光共聚焦显微镜 2D/3D点自动对焦表面形状测量机

日本三鹰MITAKA激光共聚焦显微镜 2D/3D点自动对焦表面形状测量机

日本三鹰MITAKA PF-60非接触式激光表面形貌测量装置 

产品概述：

● 测量范围广、精度高。

  半径R0.5Mm激光测头和高精度的X丫载物台，能够测量几十毫米的面积范围。精度可达到亚微米级。
（测量范围：XYZ=60mm X 60mm X 10mm,分辨率：X丫=0.1 卩m, Z=0.01 pm）

● 具有Scan AF的高速测定模式。

● 与国际粗糙度标准具有高度相关性。

● 标配的MitakaMap软件，可对应ISO国际标准的2D/3D表面粗糙度/形状测量标准。

● 紧凑的尺寸，只需要400mm x 400mm 的空间即可安装。设备重量31kg。

ISO承认的三鹰测量方法
在2008年，三鹰光器的非接触式测量原理，已经被纳入国际标准化组织（International Standard Organization ） ISO 25178-6面领域表面纹理分类方法中的”自动对焦分析” （ISO25178-605： Point Autofocus Probe ）。

测量原理

测定概要    
PF-60由自动对焦激光束显微镜（AF显微镜）和高精度移动的XY 载物台组成。AF显微镜测量Z方向的高度变化，搭配载物台XY方 向的移动，可对样品表面做二次元或三次元的测量。
XY轴移动载物台 ■ '
配备光栅尺的高精度XY轴移动载物台，在移动中能够读取XY座标值。

  在移动范围（60mm*60mm）内可连续测量。视野不受限、数 据不需拼接，可实现大范围、高精度的测量。
自动对焦系统  
高度测量用的AF显微镜，是通过上图红色激光束光路，以一个 半径为0.5卩m的激光探针通过透镜，在工作表面成像。
反射的激光束从工作表面在通过透镜，在AF传感器上成像，激 光对焦位置发生改变，AF传感器上的激光位置也会发生变化。
AF传感器侦测雷射光点的实时位移，并且根据光的变化调整AF 显微镜到对焦位置（使雷射点在AF传感器的中心成像）